[리포트] 주사전자 현미경-SEM [Scanning Electron Microscope]에 대상으로하여
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작성일 23-10-26 21:24
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[리포트] 주사전자 현미경-SEM [Scanning Electron Microscope]에 대상으로하여
SEM(Scanning Electron Microscope)
1. SEM이란?
SEM은 주사전자 현미경으로서 고체 상태의 미세조직과 형상을 觀察하는데 매우 유용하게 사용되는 分析(분석)기기 중 하나이다. 기존의 광학현미경의 최대 확대배율은 1,500배이다. 따라서 1.4의 numerical aperture를 가진 대물렌즈를 사용하면 가시광선([λ]avg = 550nm)을 사용하는 광학현미경의 경우에는 0.2 ㎛이다. 이 값이상은 해상능(Resolution)이라고 하는 렌즈(빛)의 성질에 의해 제한을 받는다. 즉 광학현미 경으로는 두 점 사이가 0.2㎛보다 가까운 거리는 구별할 수 없다는 이야기가 된다광학현미경의 이러한 단점을 극복하기 위해서 전자현미경…(투비컨티뉴드 )
2. SEM의 개발 history(역사)
3. SEM의 작동 원리
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순서
다. 분해능 (Resolution)은 illumination system의 파장, 대안렌즈나 대물렌즈의 numerical aperture(NA)에 의해 결정된다 이러한 관계는 Abbe에 의하여 수학적으로 R = 0.61 [λ]/NA로서 표시되었다.
