주사전자현미경[Scanning Electron Microscope-SEM]
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작성일 23-08-29 01:02
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전자선이 조사될 때 후방 산란 전자(back scattered electron), 2차 전자(secondary electron), X선, 음극 형광 등이 발생된다된다.
5. 비점보정 코일(Stigmator) : 오염물 등에 의해 생기는 산란전자 등은 전자선의 빔상을 비뚤게 한다. 발생한 전자는 검출기에 의해 전류신호로 변환되어 브라운관 위에 신호상으로써 영상화된다된다. 따라서, 세라믹이나 고분자 등의 부도체시료는 탄소막의 진공증착이나 금-팔라듐을 스퍼터링(sputtering)하여 전도성 코팅을 하여야 한다. 이 결과 초점이 맞지 않게 되어 해상도를 떨어뜨리게 되는데, 이를 보정하게 하는 코일을 말하며 적당한 전류를 통해 보완하는 방법이다. 시편에 충돌한 뒤 여러지점에서 전자선의 전류는 CRT에서 동시에 전류가 같은 지점에 흐르게 된다된다.
6. 시편과 시편 홀더 : SEM시료는 스터드 등의 금속제 받침에 놓이고, 이 받침은 홀더를 통하여 접지되어 있따 시편으로 입사된 전자가 방전되지 않으면, 뒤에 입사되는 전자빔에 척력을 가하여 시료에 입사되는 전자의 수가 감소되며 2차 전자의 진로에 effect(영향) 을 주어 영상의 질을 떨어뜨리게 된다된다. 이 중에서 2차 전자상이 가장 분리능이 높아서 가장 널리 사용된다된다. 그러므로 직사각형 모양으로 시편에서 주사를 하게 되면 CRT에서도 같이 주사하게 된다된다. 시편 홀더는 X, Y와 Z축 방향의 이동과
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주사전자현미경(Scanning Electron Microscope)
원리
전자발생원(electron source)으로부터 전자선을 조사해 미소한 점으로 초점을 맞추고, 검출기로 미소점에서의 alteration(변화) 된 신호량의 대소를 브라운관 점의 명암으로써 영상시키는 방식이다. 이 점에서 대물렌즈에 의해 다시 확대되며 이를 전자선이 시간에 따라 왕복하게 하는 작용을 하게 된다된다. 다른 신호에 의한 상은 2차 전자상에 비해 분리능이 떨어지지만 시료를 구성하는 특수한 성질의 정보를 얻을 수 있으므로 이러한 것은 주로 특수목적의 分析에 이용되고 있따
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